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世界をリードする半導体共同研究プロジェクト

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書誌詳細

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タイトルコード 1009810810116
書誌種別 図書
著者名 垂井康夫／編著
出版者 工業調査会
出版年月 ２００８．１２
ページ数 ３１８ｐ
大きさ ２１ｃｍ
分類記号 549.8
書名 世界をリードする半導体共同研究プロジェクト　
書名ヨミ セカイ　オ　リード　スル　ハンドウタイ　キョウドウ　ケンキュウ　プロジェクト
副書名 日本半導体産業復活のために
内容紹介 通産省が１９７５〜１９８０年に行ったプロジェクト「超ＬＳＩ共同研究所」とそれ以降の主な研究プロジェクトをレビュー。特に製造装置に重点をおいた効果を考え、その後の研究にどのように生かされてきたかなどを検証する。
件名1 半導体


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資料情報

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No. 所蔵館資料番号請求記号配架場所帯出区分状態 貸出
1 県立図007888688549.9/2389/ 書庫帯出可在庫 ○

内容細目

1 超ＬＳＩ共同研究所
2 ＳＥＭＡＴＥＣＨ
3 ＩＭＥＣ
4 オルバニーナノテク
5 あすか（ＡＳＵＫＡ）プロジェクト
6 半導体先端テクノロジーズ（Ｓｅｌｅｔｅ）
7 半導体理工学研究センター（ＳＴＡＲＣ）
8 先端ＳｏＣ基盤技術開発（ＡＳＰＬＡ）
9 超先端電子技術開発機構（ＡＳＥＴ）
10 半導体ＭＩＲＡＩプロジェクト
11 ＨＡＬＣＡプロジェクト
12 ＤＩＩＮプロジェクト
13 極端紫外線露光システム技術開発機構（ＥＵＶＡ）
14 ＊
相崎尚昭
15 ＊
赤城三男
16 ＊
禿節史
17 ＊
鴨志田元孝
18 ＊
垂井康夫
19 ＊
三浦義男
20 ＊
溝淵裕三
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