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半導体ＣＭＰ用語事典

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書誌詳細

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タイトルコード 1009810800840
書誌種別 図書
著者名 精密工学会プラナリゼーションＣＭＰとその応用技術専門委員会／編
出版者 オーム社
出版年月 ２００８．１０
ページ数 ２６２ｐ
大きさ １９ｃｍ
分類記号 549.7
書名 半導体ＣＭＰ用語事典　
書名ヨミ ハンドウタイ　シーエムピー　ヨウゴ　ジテン
内容紹介 加工技術・装置、洗淨・洗淨化技術、計測・評価技術、デバイス化技術などの各分野について、半導体ＣＭＰ技術・工程に関連する重要用語約４５０語を、図表・データを用いてわかりやすく解説する。
件名1 集積回路－辞典


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No. 所蔵館資料番号請求記号配架場所帯出区分状態 貸出
1 県立図007859580549.1/73/ 書庫帯出可在庫 ○
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