書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1009810703683 |
書誌種別 |
図書 |
著者名 |
横山浩/監修
|
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秋永広幸/編 |
出版者 |
オーム社
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出版年月 |
2007.6 |
ページ数 |
210p |
大きさ |
21cm |
分類記号 |
549.7
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書名 |
電子線リソグラフィ教本 |
書名ヨミ |
デンシセン リソグラフィ キョウホン |
内容紹介 |
「産学連携製造中核人材育成事業」の育成プログラム「電子線リソグラフィ」カリキュラムをもとに構築した実践的なテキスト。電子線リソグラフィの概要、電子線の制御方法や描画技術、レジストなどについて解説。 |
件名1 |
リソグラフィー
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件名2 |
電子線
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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
No. |
所蔵館 | 資料番号 | 請求記号 | 配架場所 | 帯出区分 | 状態 |
貸出 |
1 |
県立図 | 007564495 | 549.1/67/ | 書庫 | 帯出可 | 在庫 | ○ |
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