書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1009810690426 |
書誌種別 |
図書 |
著者名 |
菊地正典/監修
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出版者 |
日本実業出版社
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出版年月 |
2007.4 |
ページ数 |
182p |
大きさ |
21cm |
分類記号 |
549.8
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書名 |
図解でわかる半導体製造装置 |
書名ヨミ |
ズカイ デ ワカル ハンドウタイ セイゾウ ソウチ |
内容紹介 |
「半導体製造装置」のしくみとそれを支える技術を解説する。半導体の製造工程の流れと、その各工程で使用される製造装置との関連を明確にしながら説明。装置の構造、操作原理、技術のすべてが理解できる一冊。 |
件名1 |
半導体
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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
No. |
所蔵館 | 資料番号 | 請求記号 | 配架場所 | 帯出区分 | 状態 |
貸出 |
1 |
県立図 | 007534688 | 549.9/2153/ | 書庫 | 帯出可 | 在庫 | ○ |
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