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半導体のための真空技術入門

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1009810678329
書誌種別 図書
著者名 宇津木勝／著
出版者 工業調査会
出版年月 ２００７．２
ページ数 ２１９ｐ
大きさ ２１ｃｍ
分類記号 549.8
書名 半導体のための真空技術入門　
書名ヨミ ハンドウタイ　ノ　タメ　ノ＊シンクウ　ギジュツ　ニュウモン
副書名 現場で役立つ基礎と応用
内容紹介 半導体生産にはじめて携わる装置エンジニア、プロセスエンジニアのための入門書。半導体に関わる真空技術を、できるだけ数式を使わず、かつ論理的、体系的に解説し、用語の語源や由来の説明、計算ではその過程も示す。
著者紹介 ＜宇津木勝＞１９５４年生まれ。アプライドマテリアルジャパン（株）勤務等を経て、（有）寺子屋みほ設立、取締役就任。半導体関連の技術教育およびコンサルタント業務を行う。
件名1 半導体
件名2 真空技術


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1 県立図007495369549.9/2114/ 書庫帯出可在庫 ○
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