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半導体製造装置用語辞典

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タイトルコード 1009810651721
書誌種別 図書
著者名 日本半導体製造装置協会／編
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 ２００６．９
ページ数 ５６４ｐ
大きさ ２１ｃｍ
分類記号 549.8
書名 半導体製造装置用語辞典　
書名ヨミ ハンドウタイ　セイゾウ　ソウチ　ヨウゴ　ジテン
内容紹介 設計、マスク製作、ウェーハ製造、検査、設備・環境工程など、半導体デバイスを製造する７つの工程順に用語を分類・配列。製造フローチャートと各工程毎の用語の構成表も掲載。新しい技術用語を２１５語追加した第６版。
件名1 半導体－辞典


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1 県立図007414659549.9/108/B 参考書禁帯出在庫 ×
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