書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1009810613798 |
書誌種別 |
図書 |
著者名 |
草野英二/著
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出版者 |
工業調査会
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出版年月 |
2006.3 |
ページ数 |
191p |
大きさ |
21cm |
分類記号 |
549.8
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書名 |
はじめての薄膜作製技術 (ビギナーズブックス) |
書名ヨミ |
ハジメテ ノ ハクマク サクセイ ギジュツ |
内容紹介 |
コンピュータ、デジタル家電からメガネレンズまで、基盤技術として欠くことのできない薄膜作成技術について、はじめて学ぶ人ができる限り体系的に理解できるように解説する。 |
著者紹介 |
<草野英二>神戸大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。金沢工業大学教授。日本真空協会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会部会長。 |
件名1 |
薄膜
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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
No. |
所蔵館 | 資料番号 | 請求記号 | 配架場所 | 帯出区分 | 状態 |
貸出 |
1 |
県立図 | 007308711 | 549.9/2004/ | 書庫 | 帯出可 | 在庫 | ○ |
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