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はじめての薄膜作製技術　(ビギナーズブックス)

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書誌詳細

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タイトルコード 1009810613798
書誌種別 図書
著者名 草野英二／著
出版者 工業調査会
出版年月 ２００６．３
ページ数 １９１ｐ
大きさ ２１ｃｍ
分類記号 549.8
書名 はじめての薄膜作製技術　(ビギナーズブックス)
書名ヨミ ハジメテ　ノ　ハクマク　サクセイ　ギジュツ
内容紹介 コンピュータ、デジタル家電からメガネレンズまで、基盤技術として欠くことのできない薄膜作成技術について、はじめて学ぶ人ができる限り体系的に理解できるように解説する。
著者紹介 ＜草野英二＞神戸大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。金沢工業大学教授。日本真空協会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会部会長。
件名1 薄膜


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No. 所蔵館資料番号請求記号配架場所帯出区分状態 貸出
1 県立図007308711549.9/2004/ 書庫帯出可在庫 ○
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