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ナノテクノロジーと超精密位置決め技術

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書誌詳細

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タイトルコード 1009810537468
書誌種別 図書
著者名 大塚二郎／著
出版者 工業調査会
出版年月 ２００５．２
ページ数 １８９ｐ
大きさ ２１ｃｍ
分類記号 532
書名 ナノテクノロジーと超精密位置決め技術　
書名ヨミ ナノテクノロジー　ト　チョウセイミツ　イチギメ　ギジュツ
内容紹介 分解能０．２ナノメートルの超精密位置決め装置を実現した著者が、高精度、高速度、コストダウンの各視点から徹底解説。ナノテクノロジーを支援する、超精密位置決めの技術動向、事例研究を掲載する。
著者紹介 ＜大塚二郎＞東京工業大学大学院博士課程機械工学専攻修了。工学博士。静岡理工科大学教授。精密工学会の超精密位置決め専門委員会委員長。精密・超精密位置決め、精密・超精密加工を研究。
件名1 工作機械
件名2 自動制御
件名3 ナノテクノロジー


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1 県立図007094279532/105/ 書庫帯出可在庫 ○
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