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ＭＥＭＳのはなし　(Ｓｃｉｅｎｃｅ　ａｎｄ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ)

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書誌詳細

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タイトルコード 1009810532659
書誌種別 図書
著者名 前田竜太郎／編著
池原毅／著
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 ２００５．１
ページ数 １２６ｐ
大きさ １９ｃｍ
分類記号 530
書名 ＭＥＭＳのはなし　(Ｓｃｉｅｎｃｅ　ａｎｄ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ)
書名ヨミ メムス　ノ　ハナシ
内容紹介 電気回路、情報処理、センサ、光デバイスといった分野において頻繁に見られるようになった言葉「ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）」。その製造方法、様々な応用と動作原理、設計手法について概説する。
著者紹介 ＜前田竜太郎＞独立行政法人産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門マイクロ実装研究グループグループ長。工学博士。
件名1 マイクロマシン


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1 県立図007077902530/28/ 書庫帯出可在庫 ○
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