書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1009810464645 |
書誌種別 |
図書 |
著者名 |
前田和夫/著
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出版者 |
工業調査会
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出版年月 |
2004.2 |
ページ数 |
239p |
大きさ |
21cm |
分類記号 |
549.8
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書名 |
はじめての半導体ナノプロセス (ビギナーズブックス) |
書名ヨミ |
ハジメテ ノ ハンドウタイ ナノプロセス |
内容紹介 |
ナノテクノロジー時代の半導体プロセス技術について、これまでの技術の流れからどのような変革が行われようとしているかを具体的に解説。半導体デバイス、実装技術、測定・評価技術などの重要テーマの動向についてもふれる。 |
件名1 |
半導体
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件名2 |
ナノテクノロジー
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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
No. |
所蔵館 | 資料番号 | 請求記号 | 配架場所 | 帯出区分 | 状態 |
貸出 |
1 |
県立図 | 006880876 | 549.9/1783/ | 書庫 | 帯出可 | 在庫 | ○ |
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