書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1009610042034 |
書誌種別 |
図書 |
著者名 |
田辺功/〔ほか〕共著
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出版者 |
工業調査会
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出版年月 |
1996.8 |
ページ数 |
262p |
大きさ |
21cm |
分類記号 |
549.7
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書名 |
フォトマスク技術のはなし |
書名ヨミ |
フォト マスク ギジュツ ノ ハナシ |
副書名 |
超LSI、液晶、プリント板を支える |
件名1 |
リソグラフィー
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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
No. |
所蔵館 | 資料番号 | 請求記号 | 配架場所 | 帯出区分 | 状態 |
貸出 |
1 |
県立図 | 005347133 | 549.1/20/ | 書庫 | 帯出可 | 在庫 | ○ |
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