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はじめての半導体ドライエッチング技術　(現場の即戦力)

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1000000867217
書誌種別 図書
著者名 野尻一男／著
出版者 技術評論社
出版年月 ２０２０．１１
ページ数 １０，１８８ｐ
大きさ ２１ｃｍ
ISBN 978-4-297-11599-9
分類記号 549.8
書名 はじめての半導体ドライエッチング技術　(現場の即戦力)
書名ヨミ ハジメテ　ノ　ハンドウタイ　ドライ　エッチング　ギジュツ
内容紹介 ドライエッチングのメカニズムを極力数式を使わないで説明した入門書。基礎から装置、最先端の応用技術に至るまで系統的に理解できるように解説。ドライエッチング技術の今後の課題と展望についても言及する。
著者紹介 群馬大学大学院工学研究科修士課程修了。（株）日立製作所、ラムリサーチ（株）を経て独立。ナノテクリサーチ代表。共著に「先端電気化学」など。
件名1 半導体


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1 県立図010099224549.9/3329/ 一般開架帯出可在庫 ○
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