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ドライプロセス表面処理大全　(技術大全シリーズ)

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書誌詳細

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タイトルコード 1000000774010
書誌種別 図書
著者名 関東学院大学材料・表面工学研究所／編
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 ２０１９．３
ページ数 ２８５ｐ
大きさ ２１ｃｍ
ISBN 978-4-526-07968-9
分類記号 566.7
書名 ドライプロセス表面処理大全　(技術大全シリーズ)
書名ヨミ ドライ　プロセス　ヒョウメン　ショリ　タイゼン
内容紹介 真空や大気圧下で金属、無機化合物、有機化合物などの薄膜を形成する表面処理方法であるドライプロセス。真空技術や基板前処理などの基礎、ＰＶＤ、ＣＶＤ、エッチングなどの原理を解説し、応用例や最新技術等を紹介する。
件名1 金属表面処理
件名2 薄膜


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1 県立図009830365566.7/87/ 一般開架帯出可在庫 ○
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