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はじめての薄膜作製技術

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書誌詳細

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タイトルコード 1000000265378
書誌種別 図書
著者名 草野英二/著
出版者 森北出版(発売)
出版年月 2012.11
ページ数 7,160p
大きさ 22cm
ISBN 978-4-627-77452-0
分類記号 549.8
書名 はじめての薄膜作製技術 
書名ヨミ ハジメテ ノ ハクマク サクセイ ギジュツ
内容紹介 現代社会を支える基盤技術として欠くことのできない薄膜作製技術。その基礎から、真空蒸着法やスパッタリング法といった真空下における薄膜製作方法、薄膜の評価技術、応用までを解説する。
著者紹介 神戸大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。金沢工業大学バイオ・化学部教授。博士(工学)。
件名1 薄膜


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No. 所蔵館資料番号請求記号配架場所帯出区分状態 貸出
1 県立図008634370549.9/2004/A 書庫帯出可在庫 

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